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  • 学会、講演実績

2023年11月17日 WEB講演

WEB講演にて、半導体分野におけるイオン交換樹脂による金属除去技術に関する紹介を行いました。

発表内容WEB講演
発表日2023年11月17日
発表タイトルイオン交換樹脂による金属イオンの捕集とその半導体製造プロセスへの応用
 学会・雑誌・講演技術情報協会
発表概要イオン交換樹脂は、純水や超純水の製造など液体を清澄化する技術として広く使用されています。特に、液体中に存在するイオン性不純物の除去や、有価金属の回収、排水中の有害物質の除去など、様々な工業分野で活躍している。
そこで、使用されているイオン交換樹脂の諸特性の意味について解説すると共に、液体中に含まれる金属イオンの吸着と、半導体製造プロセスに必要な超純水製造におけるイオン交換樹脂の役割について解説。
ポスター発表時の状況講演評価は、アンケートにご回答いただいた全ての方から、◎○△×の4段階評価で「◎」を頂きました。
また、大変面白いセミナーだったとの感想もいただきました。
特に興味のあった内容として下記の項目を挙げられました。
 ・半導体プロセスにおける超純水製造
 ・イオン交換樹脂による金属イオンの捕集とその半導体製造プロセス

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