有機溶剤中の金属除去検討

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事例概要

エリア: 非公開
業種: 非公開
主要技術: 非公開

半導体製造で、洗浄などに使用される有機溶剤は、微量に含有する金属不純物によって悪影響を及ぼすことが知られている。一般的にこれら金属不純物を取り除く方法として、主に強酸性陽イオン交換樹脂や強塩基性陰イオン交換樹脂が知られており、その他にもキレート樹脂などがある。当社でも有機溶剤中の金属除去に使用できるイオン交換樹脂検討のため、検証試験を行った。

■有機溶剤中では、金属の拡散速度が遅いため、水中の金属を除去するときと同じ流速では処理が難しい場合がある
　　⇒一般的な純水処理と比較して、流速を小さく設定して試験を実施

■イオン交換樹脂中の残存する金属の影響によって、逆に有機溶剤を汚染させてしまう可能性がある
　　⇒高純度のイオン交換樹脂を使用

室町ケミカルの解決方法

検討方法

・試薬特級グレードの1-メトキシ-2-プロパノールに金属を添加し、模擬液を調整した

・イオン交換樹脂をテフロンカラムに充填した

・イオン交換樹脂に、1-メトキシ-2-プロパノール模擬液をSV5で通液した

・10BV（樹脂体積の10倍量）通液したところで処理液を回収し、金属濃度を測定した

結果

・10BV（樹脂体積の10倍量）通液したところで処理液を回収し、金属濃度を測定した